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PET薄膜厚度测试方法

发布时间:2012-06-27 08:59

PET薄膜厚度测试方法

PET聚酯薄膜在当今微电子薄膜、光学薄膜、抗氧化薄膜、巨磁电阻薄膜、高温超导薄膜等领域应用越来越广泛。工业应用中的PET聚酯薄膜,其厚度是一个非常重要的参数,直接关系到该薄膜材料能否正常工作。如大规模集成电路的生产工艺中的各种薄膜,电路集成程度的不断提高,薄膜厚度的任何微小变化,对集成电路的性能都会产生直接的影响。除此之外,PET聚酯薄膜力学性能,透光性能,磁性能,热导率,表面结构等都与厚度有着密切的联系。

在人们对能精确测量薄膜厚度方法的迫切需求下,相应地,产生了许多测量薄膜厚度的方案。在日常要求不是很严格的条件一般采用游标卡尺一工具来测试PET薄膜的厚度;而在需要高精密度的情况下现在则采用光学方法,它相对于其它 类方法具有快速、准确和不损伤薄膜等优点。综观当前众多流行的分类方式,按照测量方法所依据的光学原理进行分类最具代表性,可分为干涉、衍射、透射、反 射、偏振等。